Топ лучших аппаратов для литографии

Полиграфия (офсет)

1. Heidelberg Speedmaster XL 106 — флагман B1, до 18–21 тыс. л/ч, 8+ секций, Prinect, ΔE < 1,5. Для крупных тиражей.

2. Komori Lithrone G40P — B1, до 15–16,5 тыс. л/ч, стабильность, минимум отходов. Для длинных тиражей.

3. RMGT 970ST — A1-plus, до 16 тыс. л/ч, бумага 0,04–0,6 мм, опция LED-UV. Универсал.

4. Manroland Roland 900 XXL — сверхбольшой формат до 1300×1620 мм, до 13 тыс. л/ч. Для плакатов и упаковки.

5. Heidelberg Speedmaster SM 52-5 — B3, 370×520 мм, до 13–15 тыс. л/ч, полная автоматизация. Для оперативной полиграфии.

Полупроводники (фотолитография)

1. ASML TWINSCAN EXE:5200 — High-NA EUV, NA 0,55, разрешение 8 нм, 175–185 пластин/ч. Для 2 нм и ниже.

2. ASML TWINSCAN NXT:2000i — DUV immersion, NA 1,35, 193 нм. Для 7 нм+ и зрелых узлов.

3. Nikon / Canon — DUV-сегмент, зрелые техпроцессы; Canon развивает нанопечатную литографию.

Итог: в полиграфии выбор зависит от формата и тиража; в производстве чипов лидер — ASML, особенно в EUV/High-NA.