Российская компания НИИТМ, расположенная в Зеленограде (Москва), завершает разработку и представляет опытный образец первой отечественной установки для плазмохимического осаждения на 300-миллиметровых кремниевых пластинах. Это оборудование играет ключевую роль в развитии российской микроэлектронной промышленности. Ранее подобные установки закупалис…