Первый отечественный фотолитограф: как Россия осваивает производство на 350 нм

Недавно на российском форуме «Микроэлектроника 2025» был подписан контракт на поставку первой отечественной установки для совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 350 нм. Договор заключили Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) и компания «Отраслевые решения». Последняя является частью группы компаний «Элемент» (MOEX:ELMT), а также резидентом технопарка «Технополис Москва».

Это соглашение стало продолжением ранее подписанного контракта между ЗНТЦ и компанией «Микрон», также входящей в группу «Элемент» и располагающейся в «Технополисе Москва». Такую информацию предоставила пресс-служба компании «Микрон», российского производителя микроэлектроники и участника холдинга «Элемент».

Вместе с экспертами «ЗУМ-СМД» рассмотрим событие, открывающее новую страницу в истории российской микроэлектроники.

Новое оборудование ЗНТЦ, а именно фотолитограф, выполняет функцию проекционного копирования изображения с фотошаблона на полупроводниковую пластину кристалла. Этот процесс позволяет многократно тиражировать топологию для создания сверхбольших интегральных схем с проектной нормой 350 нм. Договор охватывает полный цикл: от поставки и монтажа до ввода в эксплуатацию.

Фотолитограф разработан в рамках реализации пилотных проектов государственной программы по локализации в Российской Федерации технологической цепочки производства микросхем с топологическими нормами в диапазоне 350–130 нм. Данная установка предназначена для модернизации действующих и комплектации новых производственных мощностей в сфере микроэлектроники.

Проект реализован в сотрудничестве с белорусским предприятием ОАО «Планар». Стороны договорились совместно осваивать технологии и производить фотолитографическое оборудование для целей импортозамещения существующих технологий в сфере производства микроэлектроники.

Компания «Микрон», как ведущая производственная площадка в области электронного машиностроения, играет ключевую роль в обеспечении технологического суверенитета отечественной электронной промышленности. Её ведущие специалисты открыты для партнерства в следующих аспектах:

На данный момент ведется работа по приспособлению технологических процессов установки к требованиям различных производств, и уже формируется очередь на поставку первых экземпляров. Испытания разрабатываемой техники и дальнейшая настройка техпроцессов под специфику производств будут осуществляться на базе специализированной платформы инженерно-исследовательского центра АО «ЗНТЦ». А технологические процессы установки находятся в стадии адаптации под индивидуальные потребности производств.

Специалисты АО «ЗНТЦ» подчеркивают, что тестирование электронного машиностроительного оборудования предоставляет возможность устранять неполадки, не нарушая при этом рабочие процессы и не отвлекая ресурсы действующих производств. Это значительно ускоряет переход от стадии разработки к массовому производству микроэлектронной продукции.